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壓電式(Piezoelectric)、壓阻式(Piezoresistive)與電容式(Capacitive)是目前常見的微麥克風技術(shù)。壓電式麥克風利用壓電材料受力后會輸出電流或電壓的特性，將聲音訊號轉(zhuǎn)換成電訊號，并在經(jīng)過放大之后輸出，而壓阻式麥克風是利用壓阻材料在受力之后電阻特性發(fā)生改變。通常上述兩款麥克風對聲壓的敏感度較低、并且系統(tǒng)雜訊較大。由于電容式微麥克風具有高感度及低功耗等優(yōu)良特性，是目前市場發(fā)展的主流。

電容式麥克風的結(jié)構(gòu)主要利用兩片導(dǎo)電板及兩板之間的絕緣空氣層來形成一基本電容構(gòu)造，此兩片導(dǎo)電板通常分別被稱為“振膜”( Membrane)與“背板”(Backplate)。理想的振膜為一極柔軟的彈性薄膜，受到聲壓作用時會產(chǎn)生振動，因而產(chǎn)生微距離改變，造成振膜和背板之間的動態(tài)微位移，因此使該結(jié)構(gòu)的電容值亦隨之改變。

電容式麥克風的結(jié)構(gòu)原理：麥克風的感測器晶片構(gòu)造通常是由一層較薄且低應(yīng)力的復(fù)晶矽或氮化矽形成振膜，另以一較厚的復(fù)晶矽或是金屬層形成具有多孔結(jié)構(gòu)的背板，共同形成一組以空氣作為介電層的微電容器構(gòu)造。除了必要的感測器之外，在麥克風的封裝體內(nèi)通常還須搭配另一顆電路晶片，提供給該晶片正常操作時需要的穩(wěn)定偏壓、并將訊號經(jīng)過放大處理后輸出，一般泛稱為ASIC。

倍壓電路目的是藉由對輸入的電源進行增壓處理，以提供晶片所需之較高操作電壓。放大器電路功用在于放大及穩(wěn)定輸入訊號。電壓穩(wěn)定器的功能則是在ASIC電源輸入端提供穩(wěn)壓處理，使晶片內(nèi)部各電路區(qū)塊皆能正常運作。而數(shù)位式ASIC除了同時具備上述三項基本功能區(qū)塊之外，還增加了所謂“三角積分調(diào)變器”(Sigma Delta Modulator)電路，來負責訊號的取樣與抑制雜訊等任務(wù)。